Физики КНИТУ-КАИ и Харбинского политехнического университета создали метод мгновенного контроля химических реакций в плазме

11 марта 2026 Магариф

Учёные КНИТУ–КАИ совместно с коллегами из Харбинский политехнический университет разработали метод, позволяющий в реальном времени отслеживать химические превращения в плазме. Исследование выполнено при поддержке Российский научный фонд. Об этом сообщает пресс-служба министерства образования и науки РТ.

Плазма широко применяется при создании компонентов микроэлектроники и защитных покрытий для авиа- и машиностроения. В процессе синтеза в неё вводят вещества-прекурсоры, из которых образуются наночастицы и тонкие плёнки. Ранее подробно отслеживать происходящие реакции было сложно.

Учёные предложили анализировать энергии так называемых «быстрых» электронов, возникающих при столкновении возбужденных атомов гелия с молекулами добавленного вещества. Такой подход позволяет фиксировать образование различных промежуточных соединений.

В качестве модельной системы исследователи изучили разложение силан. Были обнаружены атомарный и молекулярный водород, кремнийсодержащие радикалы, а также частицы чистого кремния, оседающие в виде включений.

Для анализа данных создана модель, описывающая поведение более 20 типов частиц и свыше 50 реакций в плазме. Это позволяет точнее управлять параметрами процесса и повышать выход нужных продуктов.

Напомним, что 2022–2031 годы в Российской Федерации объявлены Десятилетием науки и технологий. Это было установлено Указом Президента Российской Федерации от 25.04.2022 г. №231. Основные задачи проведения Десятилетия науки и технологий - это привлечение талантливой молодёжи в сферу исследований и разработок, содействие вовлечению исследователей и разработчиков в решение важнейших задач развития общества и страны и повышение доступности информации о достижениях и перспективах российской науки для граждан Российской Федерации.